Q: 光學(xué)顯微鏡、電子掃描顯微鏡、 雷射掃描顯微鏡三者特色為何?
A: 對于表面微小形狀產(chǎn)品的觀察,不外乎利用光學(xué)顯微量測顯微鏡或是電子顯微鏡,如果利用光學(xué)式高倍量測顯微鏡,其優(yōu)點(diǎn)為彩色影像、可以即時(shí)觀察量測,但解析能力上則受制于可見光波長的限制,且3D影像上總是沒有電子掃描顯微鏡影像來得立體及層次分明,針對數(shù)μ的3D量測無法得到優(yōu)異的再現(xiàn)性。
如果利用電子掃描顯微鏡,也有其不便及限制之處,除了黑白影像外,在檢查標(biāo)本的製作上非常麻煩,除了要做微小薄片處理外,碰到無法導(dǎo)電的材料,還要做鍍膜處理以及抽真空等繁瑣處理,無法做到有效率及大范圍的即時(shí)觀察量測。而雷射掃描顯微鏡則利用波長408nm的雷射光掃描被測物表面,并且以0.01μ的段層掃描取樣,再將影像予以重組以得到直逼電子顯微鏡的高解像力及對比,因此可同時(shí)兼具光學(xué)顯微鏡之即時(shí)彩色影像觀察及電子掃描顯微鏡高解析精確量測之特色。