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本文標(biāo)題："請(qǐng)問一下干涉顯微鏡應(yīng)用范圍"

請(qǐng)問一下有人知道干涉顯微鏡"應(yīng)用"在哪些方面嗎?

程雙頻直線度同軸度測(cè)量激光干涉顯微鏡：
    準(zhǔn)直測(cè)量方法及準(zhǔn)直測(cè)量干涉顯微鏡主要用于解決機(jī)械製造和安裝中的準(zhǔn)直測(cè)量問題。例如：汽輪機(jī)、水輪機(jī)、發(fā)電機(jī)的同軸度，不連續(xù)重型電機(jī)鏡板的平面度，超長導(dǎo)軌的直線度等。這些測(cè)量要求激光準(zhǔn)直儀應(yīng)具有以下特徵：能連續(xù)測(cè)量也能間斷測(cè)量，間斷測(cè)量是指測(cè)量過程需要傳感器離開光路后又再回到光路中（光路被擋住后又恢復(fù)）同時(shí)又不影響測(cè)量結(jié)果，這是同軸度和有孔鏡板平面度測(cè)量必須的；對(duì)激光束的平漂和角漂不敏感；對(duì)大氣擾動(dòng)不敏感。在0-30m 距離能保持1ppm的不確定度，1微米的分辨率。以前的激光準(zhǔn)直儀沒有能達(dá)到前述要求。從非線性動(dòng)力學(xué)的高度對(duì)大氣擾動(dòng)進(jìn)行了理論和實(shí)驗(yàn)研究，得出了偏離 '共路'的程度和補(bǔ)償可能性之間的定量規(guī)律；提出了小分束角的雙渥拉斯頓干涉顯微鏡設(shè)計(jì)，在30m處8mm光斑中心只分開2.6mm；從理論和實(shí)驗(yàn)上證明端部反射鏡應(yīng)採用直角稜鏡而不能採用四面體或貓眼才能保證對(duì)平漂和角漂的抑制；準(zhǔn)直測(cè)量分辨率1微米、量程達(dá)到3.6mm