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AFM的應(yīng)用
AFM的應(yīng)用非常廣,只要是材質(zhì)的界定皆可考慮運(yùn)用AFM的高解析度,在半導(dǎo)體故障分析的領(lǐng)域中可用來觀察Si wafer的平坦度、濺鍍材質(zhì)或薄膜觀察及與其它SPM的結(jié)合輔助判讀
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