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. 景深大,圖象立體感強,透射電鏡大10倍,較光學顯微鏡的
景深大300倍,由此適合粗糙表面的觀察,如礦物斷口表面、晶面的生
長紋、階梯等的觀察和結構分析等。(3)試樣臺可動的自由度大,試樣
可在三宴空間內作六個自由度移動,即三變空間的平移和旋轉,用來
觀察試樣各個方向;的細節(jié)十分方便。
(4)在試樣表面可得到多方面的資料,如無陰影照明性質的二次電
子象,又可獲得有陰影照明性質的背散射電子象(即成份象),和強調
深坑部分的吸收電子象。
(5)對被測試樣的損傷和污染社度小,特別適用于生物、醫(yī)學,細
菌試樣的觀察,這是因為電子柬流小,束徑小,束能小,以及電子束
在試樣表面作光柵狀掃描,而不是固定一點照射試樣,由此對試樣的
污染和損傷小。 ·
(6)在觀察形貌的同時,又可進行試樣微區(qū)成份的點,線,面掃描
定性和定量分析,查定元素的賦有狀態(tài)等。分析體.積為數立!方微米
,相對靈敏度為0.05%左右。
(7)分辨率為50一?0埃,較透射電鏡略低。
(8)附有x射線波譜儀或X射線能譜儀都可進行試樣成·份的定性及
定量分析,但前者對試樣表面要求嚴格(平整光滑,導電性好等),故
定量分析精度高,后者定性分析速度快,2—3分鐘內便能將試樣的成
份全SS元素分析出來
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