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以測試光于投射于待測物后在光學系統(tǒng)上所誘發(fā)角度偏向并結(jié)合CCD光強影像分析來描繪出其三維表面形貌。因待測物的表面輪廓變化正比于平行四邊形二次內(nèi)反射率，且反比于二次內(nèi)反射率對外角間之斜率，最后我們得到s偏光曲線反射率對外角的斜率的較為平緩，其角度靈敏度較小，但可量測之縱向高度范圍較大，所得之表面形貌變化反應較為緩和與真實。雖然p偏光曲線反射率對外角斜率較為陡峭，其角度靈敏度較高，但可量測之縱向高度范圍較小，所得之表面形貌變化反應較為強烈。由一個物鏡與一個透鏡所形成之共焦透鏡組合加入實驗架構(gòu)讓行經(jīng)透明待測物之光線不因待則物表面變化而導致入射CCD之光線發(fā)生發(fā)散或收斂之現(xiàn)象，最后造成量測不準的情形。而且本系列研究囊括穿透式與反射式架構(gòu)，放大倍率可從十幾倍到一千多倍，并可視待測物大小調(diào)整倍率。其優(yōu)點為非破壞性、非接觸性量測，無干涉，因此不需有繁複的相位解析，且組裝容易，易于操作又可作即時大面積之表面形貌量測。