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傳統(tǒng)式剖面研磨
原理:
樣品剖面研磨屬于破壞性實驗,利用砂紙(或鉆石砂紙)作研磨,加上后續(xù)拋光,可處理出清晰的樣品剖面,是種快速的樣品制備方法,搭配后續(xù)的檢測設備(光學
顯微鏡或掃描式電子顯微鏡)可以觀察樣品之剖面結構。除了一般IC結構觀察外,像是PCB、PCBA或LED等各式樣品皆可藉由此方法,進行樣品剖面觀察。
樣品剖面研磨之基本流程:
切割:利用切割機裁將樣品裁切成適當尺寸
冷埋:利用混合膠填滿樣品隙縫,增強樣品之結構強度,避免受研磨應力而造樣品毀損
研磨:樣品以不同粗細之砂紙(或鉆石砂紙),進行研磨
拋光:于絨布轉盤上加入適當的拋光液,進行拋光以消除研磨所殘留的細微刮痕
應用:
IC之產品,如覆晶封裝( Flip Chip)、鋁/銅制程結構、C-MOS Image Sensor
PCB/PCBA等各種板材或成品
LED成品
實驗目的
利用鋼料內部所含碳量及各種合金元素成分的不同,于高速旋轉中的砂輪家以研磨時,由產生的火花所表現的特質,判斷鋼料的種類
實驗設備
火花試驗柜:內部背景為黑色,以更清楚觀測火花。砂輪機:與試驗棒摩擦,產生火花。標準試棒:已知成份的各種鋼棒。直徑∮= 12 mm長度t = 120 mm安全眼鏡:防止粉屑飛入眼睛,且易于清楚觀察
實驗原理
1.鋼材與旋轉的砂輪接觸,鋼料被切削產生無救的微細屑片,因摩擦屑片溫度很高,又處于空氣中產生氧化作用,使得溫度更形提升,而形成一條條光亮的線條。
2.若鋼料含有碳元素,會氧化成CO 2 氣體,而產生”火花”碳含量愈高,火花數量就愈多。
3.利用顯微鏡觀察磨屑,發(fā)現磨屑為球形小粒,且有一爆破處證明”火花”是因碳氧化成CO 2 ,產生高壓氣體而達到爆炸的程度。
4.火花束可分為三段
碳鋼火花的特征以火花的數目、大小、明亮度作為最有效的判別標準
碳鋼火花的特征(碳之火花分枝)
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