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本文標(biāo)題："原子力學(xué)顯微鏡(AFM)和金相顯微鏡在薄膜特性量測實驗的作用"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2012-6-13 1:43:26 本站主頁地址：http://www.y7853.cn
原子力學(xué)顯微鏡(AFM)：
觀察薄膜三維空間的表面型態(tài)，原子力學(xué)顯微鏡是一非破壞性的表面分析儀，利用圖像分析可得薄膜之表面粗糙度及奈米結(jié)構(gòu)的尺寸分佈。在本研究中是觀察Ni崁入式ITO之表面型態(tài)以及表面粗超度，又觀察Ni崁入式ITO試片之Ni與ITO部分。
金相顯微鏡(OM)：
金相顯微鏡之觀察主要為經(jīng)過黃光制程Lift-off制作的Ni嵌入式ITO的點狀槽。
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