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本文標(biāo)題："掃描延伸電阻顯微鏡的應(yīng)用有哪些？"
新聞來源：未知 發(fā)布時(shí)間：2012-12-9 13:03:22 本站主頁地址：http://www.y7853.cn
掃描延伸電阻顯微儀是對(duì)映出樣品內(nèi)隱含的電導(dǎo)率或電阻率的二維分佈對(duì)比影像，可應(yīng)用于半導(dǎo)體性及III-V、II- V I半導(dǎo)體，如LEDs、photo-detectors及l(fā)aser diode等。
此外SSRM對(duì)微小變量的摻雜濃度，亦有極佳的解析能力。
因?yàn)閷?dǎo)電式顯微儀的電流感測(cè)靈敏度極佳，
故可應(yīng)用于電性極差或厚度為奈米尺度的絕緣性樣品，如半導(dǎo)體、DLC薄膜、生醫(yī)材料（bio-materials）、導(dǎo)電高分子（conductive polymer）、氧化物（oxides）
及鐵電材料忙（ferro-electric material）。
例如
（1）應(yīng)用于檢測(cè)介電層薄膜的電性瑕疵：在樣品SiO2，可藉由此方法來判斷薄膜的均勻性或介電層的崩潰電壓；
（2）應(yīng)用于檢測(cè)連電性高分子薄膜的電性。
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