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高角度環(huán)狀暗場影像技術(shù)為在電鏡系統(tǒng)中加裝一個(gè)高角度環(huán)狀暗場的偵測器,
主要負(fù)責(zé)偵測50~150 mrad之高角度散射電子而成像。此高角度散射電子機(jī)率一般來說正比于原子序平方,
也就是指原子序越大,散射機(jī)率越高。故此種影像訊號強(qiáng)度大約與材料原子序的平方成正比,
所以又稱為原子序?qū)Ρ扔跋?(Z-contrast image)[2][3]。因此若是在掃瞄穿透式電子
顯微鏡的原子級解析度下透過偵測器接收訊號,
即可大概分辨出原子彼此間的差異。此外,由于HAADF的成像主要是由入射電子所撞擊到的試片原子其原子序所影響,
所以HAADF image較不會(huì)受到Dynamical Diffraction的作用,對于試片厚度或物鏡像差、散焦,也不會(huì)有明顯的改變。
其空間解析度主要是由所聚焦的入射電子束大小所決定。
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