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本文標(biāo)題:"三坐標(biāo)測(cè)量工具顯微鏡能夠建立三維測(cè)量影像"

新聞來(lái)源:未知 發(fā)布時(shí)間:2013-1-20 1:09:15 本站主頁(yè)地址:http://www.y7853.cn

常用雷射搭配一位置靈敏光強(qiáng)偵測(cè)器之偵測(cè)方式(beam-bounce technique)。
利用原子力顯微鏡量測(cè)共聚物的電區(qū)之架設(shè)示意圖(b)鐵電共聚物之鐵電區(qū)影像
由 A.Gruverman 等人首先在 PbZrTiO3 (PZT)鐵電薄膜施加一直流電壓使其極化反轉(zhuǎn)后觀察其鐵電區(qū)影像,
同年使用壓電力顯微鏡(piezoresponse force microscope)的量測(cè)來(lái)比較 PZT 薄膜分別成長(zhǎng)在 Ru 和 Pt
上鐵電區(qū)結(jié)構(gòu)的差異[4]。之后于 1998 年研究 PZT 鐵電薄膜在〝奈米尺度〞下的
鐵電區(qū)及電區(qū)反轉(zhuǎn)(domain switching)行為在這先前的壓電力顯微鏡量測(cè)只有極化方向垂直于薄膜的分量
可被量測(cè),稱(chēng)之為 vertical PFM;同年(1998 年)發(fā)展出可量測(cè)極化方向平行于薄膜表面的 lateral
PFM,又 2006 年 S. V. Kalinin 及 B. J. Rodriguez 量測(cè) PbTiO3 鐵電薄膜同一鐵
電區(qū)的 vertical PFM 及 lateral PFM,建立了二維鐵電區(qū)影像,并利用探針偏斜機(jī)制來(lái)建立三維鐵電區(qū)影像,稱(chēng)為 vector PFM。

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