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本文標題："微光學元件之制作與測量-測量顯微鏡價格!"

在微直角錐反射鏡方面，我們對反射鏡所制做的路標其對比度會比

傳統的涂漆式路標其對比度要好上 1.64﹪~4.12﹪，因此可以證明

出微光學反射直角稜鏡的確優(yōu)于傳統式的路標。在微透鏡方面，我

們完成微米（μm）級的微小光學元件的設計與制作，而微透鏡陣列

光點收斂的聚焦點直徑也略大于繞射極限。在其它微光學元件方面，

我們也制作出微光柵繞射元件以及各種微柱狀鏡，并且利用 Matlab

分析其各元件之粗糙度，包括以小波函數轉換，目的只為了加強我

們微光學元件的實用性。未來將朝非球面鏡制作，并研究如何設計

更準確地控制加工深度，及如何研磨微光學元件，使本系統朝向更

高解析度之制程邁進，以滿足將來更高品質之光學微系統需求。

本文中介紹的新穎 LIGA-like 微加工技術，目前已整合在

激光光刻電鑄及模造技術中，近年來準分子激光加工技術，由于其

相較于一般蝕刻技術擁有較精確和較高深寬比（aspect ratio）的

特性，且相較于電子束和 X-ray 光刻（lithography）技術在成本

效益的考量上便宜許多，已廣泛地應用在許多微小結構加工成型與

微細裝置光刻上。以準分子激光作為微光學陣列元件之制程技術，

既快速又準確，足以取代現行之標準半導體制程模式，而且更短波

長（193nm）之準分子激光加工系統，目前也純熟地不斷被開發(fā)出來，

未來更具彈性之微光學設計制作環(huán)境逐漸地實現。

此外，未來在 DVD 讀寫頭（picked up head）、激光二極體陣列

（diode laser arrays）、偵測器陣列（detector arrays）、光計算

（optical computing）、光連接（optical interconnection）與光

通訊（optical communication）等等應用或結合平面光學

（planar-optics）與固態(tài)激光在微光電系統上將有更彈性之設計空

間與應用領域等待開發(fā)，尤其在消費性光電子產品中的CGH（computer

generated holograms）或 DOE（diffractive optical elements）

更迫切地需要以塑膠射出、壓克力壓膜、樹脂翻制等大量制造微光

學元件與系統組件時，準份子激光微加工制程方式提供了迅速、彈

性與廉價等優(yōu)勢。