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電子
顯微鏡利用電子束照明得到物體高放大倍數(shù)顯微像
電子顯微鏡 (electron microscope) 利用電子束照明﹐經(jīng)電磁或靜電透鏡聚焦﹐
以得到物體高放大倍數(shù)顯微像的設(shè)備。電子的加速電壓一般為100~200千伏﹐
相應(yīng)電子波長(zhǎng)為0.037~0.025埃﹐約為可見(jiàn)光波長(zhǎng)的十萬(wàn)分之一。
所以電子顯微鏡(以下簡(jiǎn)稱電鏡)的分辨本領(lǐng)比光學(xué)顯微鏡高得多。
第一臺(tái)電鏡制于1931年﹐其結(jié)構(gòu)與普通光學(xué)顯微鏡相似﹐
為透射電鏡。60年代末發(fā)展了掃 描電鏡﹐
70年代從透射電鏡發(fā)展出超高壓電鏡和高分辨電鏡﹐并把透射和掃描電鏡技術(shù)結(jié)合起來(lái)﹐
再加上微區(qū)成分分析技術(shù)﹐發(fā)展成分析電鏡。
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