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本文標(biāo)題："精密量測(cè)非均質(zhì)材料表面輪廓測(cè)量光學(xué)顯微鏡"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2013-3-18 20:09:59 本站主頁(yè)地址：http://www.y7853.cn
精密量測(cè)非均質(zhì)材料表面輪廓測(cè)量光學(xué)顯微鏡
傳統(tǒng)相移干涉式的顯微鏡怎樣準(zhǔn)確量測(cè)非均質(zhì)材料表面，
須外加橢偏儀做量測(cè)校準(zhǔn)。此一做法使得量測(cè)時(shí)的不準(zhǔn)確度增加，且無(wú)法做到全域性的量測(cè)。
如何建立一套全新的多功光學(xué)顯微系統(tǒng)，結(jié)合低成本之光學(xué)顯微鏡爲(wèi)基礎(chǔ)，
在已開發(fā)完成之結(jié)合共焦顯微鏡與光子穿隧顯微鏡之多功顯微系統(tǒng)上，加上Mirau干涉式的顯微鏡與精偏儀架構(gòu)，
以達(dá)到精密量測(cè)非均質(zhì)材料表面輪廓之目的。論文中并將探討全域性Mirau干涉式的顯微鏡與精偏儀之各種量測(cè)架構(gòu)，
以及如何結(jié)合創(chuàng)新相位重建技術(shù)－織錦式細(xì)胞自制演算法與精橢參數(shù)的校正于此一全新量測(cè)系統(tǒng)之各項(xiàng)步驟。
最后并利用實(shí)驗(yàn)來(lái)驗(yàn)證此系統(tǒng)架構(gòu)的可行性。
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