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本文標(biāo)題："量測(cè)工具顯微鏡的微粒直徑范圍為100 nm-1mm"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2013-3-21 2:52:40 本站主頁(yè)地址：http://www.y7853.cn
量測(cè)工具顯微鏡的微粒直徑范圍為100 nm-1mm
在晶圓表面上的奈米級(jí)微粒的粒徑和分布是半導(dǎo)體制程中相當(dāng)重要的檢測(cè)參數(shù)。
針對(duì)此需求，工研院量測(cè)中心發(fā)展出一套奈米級(jí)的多方位偏振散射光量測(cè)儀，
使用一個(gè)可四個(gè)角度旋轉(zhuǎn)的多方向調(diào)整機(jī)構(gòu)來(lái)量測(cè)由晶圓表面上奈米微粒的偏振散射光，
再經(jīng)由此散射光的Mueller 矩陣來(lái)計(jì)算和分辨奈米微粒的粒徑大小，
其可量測(cè)的微粒直徑范圍為100 nm-1mm，并可承載4-8吋的晶圓進(jìn)行量測(cè)。
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