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本文標(biāo)題:"影像式橢圓偏光儀量測薄膜-工具型顯微鏡"

新聞來源:未知 發(fā)布時(shí)間:2013-3-21 2:52:59 本站主頁地址:http://www.y7853.cn

影像式橢圓偏光儀量測薄膜-工具型顯微鏡

閃頻式影像橢圓偏光儀克服電荷耦合元件在傳輸及儲(chǔ)存緩慢的缺點(diǎn)。

一般電荷耦合元件至少需要0.03秒方能取得一張照片,所以無法擷取光彈調(diào)變器50kHz的信號(hào)。

利用與光彈調(diào)變器同頻率的短脈衝光源,在某特定時(shí)間放射,即可凍結(jié)特定相位,
進(jìn)而取像再轉(zhuǎn)成橢圓偏光參數(shù)而成影像式橢圓偏光儀。本文乃運(yùn)用此影像式橢圓偏光儀量測一個(gè)具有結(jié)構(gòu)的二氧化矽薄膜,

以及一油滴沿著矽晶片滑下的過程,藉其厚度的二維分布,以呈現(xiàn)橢圓偏光儀的影像功能。

現(xiàn)以同樣的理念實(shí)施在偏光儀,稱之為穆勒矩陣影像偏光儀,利用Lu-Chipman極化矩陣的分解法,

可以減少材料對(duì)入射光散射的影響,故用以量測生物介質(zhì)。在此以偏光儀觀測葉的乾燥過程。

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