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微結構的電鑄技術中,鍍層的內(nèi)應力影響較大
在電鑄制程 方面,合金的電鑄為新研究趨勢,其中又以具有優(yōu)良導磁性或熱膨脹
系數(shù)可控制的Ni-Fe合金最受重視,此外具有低應力的Ni-Co合金,在模具業(yè)的、
需求極高。 在微結構的電鑄技術中,鍍層的內(nèi)應力有重大的影響,當鍍層內(nèi)應
力高時,易使鑄件結構變形,甚至造成拔模(脫模)困難,這點相當重要。
Ni - Fe合金已經(jīng)被廣泛研究過,
可知當Ni - Fe合金中的Fe含量高于
10%時硬度即可高于Hv 500,做為微結構元件用料時會有較佳的抗磨耗性。 另
一方面,79% Ni-Fe合金為軟磁材料,具有高導磁系數(shù)和高飽和磁束密度,可做
為制動元件或感測器用材。 36% Ni-Fe合金的熱膨脹系數(shù)相當?shù)停瑤缀鹾湍承┨?/div>
瓷材料相近、可直接用陶瓷材料封裝、結合,因此在微機電系統(tǒng)中的關鍵性零
組件很有應用價值。 而必須克服的是電鑄成型的內(nèi)應力,運用適當?shù)奶砑觿┛?/div>
將內(nèi)應力調整到理想值
然而,微結構幾何形狀的變化、鍍槽設計、電鑄模仁
結構材質等均會使局部電流密度改變,本研究旨在探討不同的電流密度對于鍍
層內(nèi)應力的影響,從中選用適當?shù)碾娏髅芏冗M而鍍出需求的微結構
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