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本文標題："平行于電子束是取得高分辨影像的重要因素"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2013-4-15 21:35:52 本站主頁地址：http://www.y7853.cn
藉由傾斜試片使某特定晶面的軸向(pole)平行于電子束是取得高分辨原子影像的重要條件。
試片區(qū)的真空要求度較低，約在10-5 torr，試片區(qū)較低的真空要求度可節(jié)省每次更換試片所要花費的時間。
通常在電子光束跟試片室之間會有一真空閥門來隔開兩真空度有差異的區(qū)域，要進行觀測時才會打開，
以防電子光束壽命減短。電磁透鏡系統(tǒng)是由物鏡(objective lens)，中間鏡(intermediate lens)，
以及投影鏡(projective lens)等三種所構(gòu)成。
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