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本文標(biāo)題："AFM電子顯微鏡是可用來(lái)量測(cè)微,納米級(jí)微結(jié)構(gòu)"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2013-4-22 0:58:47 本站主頁(yè)地址：http://www.y7853.cn
AFM電子顯微鏡是可用來(lái)量測(cè)微,納米級(jí)微結(jié)構(gòu)
AFM是可用來(lái)量測(cè)微、奈米級(jí)微結(jié)構(gòu)，但是當(dāng)CD尺寸小于100 nm時(shí)，AFM探針之尖端與外形也是在這個(gè)尺度，
量測(cè)時(shí)，因AFM探針外形與奈米結(jié)構(gòu)會(huì)有幾何外形干涉問(wèn)題，無(wú)法確切量測(cè)出奈米結(jié)構(gòu)形貌，造成量測(cè)尺寸的誤判。
量測(cè)時(shí)，以探針?lè)謩e量測(cè)物體兩側(cè)形貌尺寸，兩側(cè)形貌之間距，減去已知探針之輪廓，則可估算出真實(shí)試片之輪廓形狀或線寬值，
本研究提出一種創(chuàng)新的半導(dǎo)體奈米結(jié)構(gòu)量測(cè)方法，采用雙傾斜之AFM掃描量測(cè)，將兩次傾斜后之掃描影像，以影像疊合技術(shù)，
配合探針尖端尺寸修正，即可克服原本被干涉而無(wú)法量測(cè)區(qū)域轉(zhuǎn)變?yōu)榭闪繙y(cè)到的區(qū)域，以正確地量測(cè)出半導(dǎo)體CD尺寸，
應(yīng)用于線寬量測(cè)的估算量測(cè)不確定度為3.18 nm。
100 nm以下線寬量測(cè)方法
量測(cè)100 nm以下線寬時(shí)，使用CNT(奈米探管)-AFM單向掃描二次方法，以AFM量測(cè)試片后，
得到掃描圖像，將試片旋轉(zhuǎn)180度，同樣再掃描一次后，以影像疊合技術(shù)將二次掃描結(jié)果組合，
便可得到待測(cè)件真實(shí)輪廓。此方法會(huì)碰到的問(wèn)題為奈米工件非常細(xì)微，經(jīng)旋轉(zhuǎn)180度后，很難再找到同樣位置進(jìn)行量測(cè)，
會(huì)造影像疊合技術(shù)之組合誤差。
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