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本文標(biāo)題："表明輪廓測(cè)量?jī)x器常識(shí)-超細(xì)微探針顯微鏡"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2013-4-22 0:59:01 本站主頁(yè)地址：http://www.y7853.cn
表明輪廓測(cè)量?jī)x器常識(shí)-超細(xì)微探針顯微鏡
AFM電子顯微鏡，配合使用超細(xì)微探針，探針尖端尺寸可降低到10 nm以下等級(jí)，參考NIST之AFM量測(cè)線寬方法，
變更為雙傾斜影像疊合量測(cè)法，先將試片順時(shí)針傾斜，此時(shí)探針掃描由左往右，量測(cè)影像之左側(cè)為探針實(shí)際量測(cè)試片線寬之實(shí)際輪廓影像，
再將試片逆時(shí)針傾斜時(shí)，探針掃描由右往左(量測(cè)影像，同樣試片右側(cè)輪廓為探針實(shí)際量測(cè)試片線寬右側(cè)之幾何形狀，繼之以影像疊合技術(shù)組合量測(cè)影像，疊合后，
取第一次掃描之左測(cè)影像與第二次掃描之右測(cè)影像；
在旋轉(zhuǎn)試片時(shí)，以試片量測(cè)位置表面為旋轉(zhuǎn)中心，所以旋轉(zhuǎn)試片后，量測(cè)位置偏移很小(約為40 μm)，
能調(diào)整AFM掃描范圍，所以二次量測(cè)都能在同一位置。
影像疊合組合技術(shù)，是利用ICP(Iterative closest point)數(shù)學(xué)式，此法可算得兩張圖像相對(duì)應(yīng)之旋轉(zhuǎn)與平移矩陣，
再擷取多張相近圖像之迭代運(yùn)算后可收斂出一張最接近之疊合影像。經(jīng)影像疊合后之量測(cè)影像，需補(bǔ)償修正探針之尖端半徑后，
才能得到試片奈米結(jié)構(gòu)線寬之實(shí)際形貌
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