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瑞士 IBM 蘇黎世(Zurich)研究實驗室的研究員 Gerd Binnig 和 Heinrich Rohrer
發(fā)明“掃瞄穿隧式電子顯微鏡”(Scanning Tunneling Microscope,STM)5,可觀察樣品的
表面原子排列形貌。自此以后,量測奈米等級和原子級尺度的表面輪
廓,都可利用極細的探針在靠近試片表面進行形貌或表面特性的探
測 。而且利用試片材料特性的不同,探針和試片表面原子或分子團
所產(chǎn)生的交互作用也不一樣,所發(fā)展出各種掃瞄探針顯微鏡
(Scanning Probe Microscope, SPM):例如原子力顯微鏡 (AtomicForce Microscope, AFM)6、
靜電力顯微鏡 (Electrostatic ForceMicroscope, EFM)、磁力顯微鏡 (Magnetic Force Microscope,
MFM)、掃瞄電容顯微鏡 (Scanning Capacitance Microscope, SCM)
及掃瞄近場光學顯微鏡 (Scanning Near-Field Optical Microscope,SNOM)等,
來檢測與探討奈米材料表面結(jié)構(gòu)的各種不同性質(zhì)及特性
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