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本文標(biāo)題："元件表面的粗糙度會(huì)直接影響微光學(xué)元件的特點(diǎn)"
新聞來源：未知 發(fā)布時(shí)間：2013-4-27 0:12:11 本站主頁地址：http://www.y7853.cn
微光學(xué)元件表面輪廓量測
元件表面的粗糙度會(huì)直接影響微光學(xué)元件之特性，如果表面粗糙太過嚴(yán)重會(huì)使其光學(xué)效率大大的降低，
因此經(jīng)由準(zhǔn)分子雷射拖拉式加工之后的工件，我們都必須進(jìn)行表面輪廓的量測。而我們是采
用光學(xué)顯微鏡、干涉儀（Zygo）、薄膜測厚儀（α-stepper）及掃描式電子顯微鏡（SEM）分別對(duì)
元件表面進(jìn)行表面外觀形狀、蝕刻深度等的量測，并且利用電腦計(jì)算出加工后工件之粗糙度，
目的在于對(duì)元件作初步的檢驗(yàn)與評(píng)價(jià)制程的品質(zhì)
平衡是因?yàn)樗m用于一個(gè)以上的階段，其中可能存在的系統(tǒng)。相平衡是現(xiàn)在一個(gè)系統(tǒng)的相位特性與時(shí)間的關(guān)系。
免費(fèi)能源方面的考慮和圖表類似提供了有關(guān)特定系統(tǒng)的，這是非常重要的平衡特性的訊息
但他們沒有說明實(shí)現(xiàn)一個(gè)新的平衡狀態(tài)所需的一段時(shí)間。這是經(jīng)常發(fā)生的情況，尤其是在固體系統(tǒng)，
即一種平衡狀態(tài)從來沒有完全實(shí)現(xiàn)，因?yàn)榫G平衡的方法是極其緩慢的，這樣的系統(tǒng)被認(rèn)為是在非平衡態(tài)或亞穩(wěn)態(tài)。
亞穩(wěn)態(tài)或微觀結(jié)構(gòu)可能會(huì)持續(xù)下去，隨著時(shí)間的推移經(jīng)歷只有極其輕微，幾乎難以察覺的變化。
通常情況下，亞穩(wěn)結(jié)構(gòu)超過均衡的現(xiàn)實(shí)意義。例如，一些鋼和鋁合金依靠亞穩(wěn)態(tài)微觀結(jié)構(gòu)的發(fā)展實(shí)力，
在精心設(shè)計(jì)的熱處理。
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