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本文標(biāo)題："CDD光學(xué)影像測(cè)量?jī)x廠商-測(cè)量型工具顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時(shí)間：2013-5-27 1:48:09 本站主頁(yè)地址：http://www.y7853.cn
CDD光學(xué)影像測(cè)量?jī)x廠商-測(cè)量型工具顯微鏡
選擇灰階CCD的優(yōu)點(diǎn)是
優(yōu)點(diǎn)是對(duì)于表面資訊不足的被檢測(cè)物，有好的重建 3D 輪廓效果，
其原因?yàn)閷?duì)一影像而言，物體邊緣或灰階度變動(dòng)較劇烈的部分為高頻，平滑的部分為低頻，
亦即在影像的焦點(diǎn)區(qū)域中其灰階強(qiáng)度變化是一個(gè)相對(duì)高頻（對(duì)模糊區(qū)域），所以當(dāng)待測(cè)物
在焦平面上，理應(yīng)能擷取到灰階強(qiáng)度的變化，但若待測(cè)物結(jié)構(gòu)過于平滑，導(dǎo)致無灰階強(qiáng)度變化，
則無法判別待測(cè)物是在焦平面上；因此加入一結(jié)構(gòu)性光源，把一亮暗有強(qiáng)烈灰階變化的光束，
投射至待測(cè)物表面上，強(qiáng)制給它高頻的訊號(hào)，如此就能獲得較佳的重建結(jié)果。
中為平滑的矽基質(zhì)（silicon substrate）的矩形結(jié)構(gòu)影像，
為矽基質(zhì)三維輪廓的示意圖，若沒有結(jié)構(gòu)光的照明會(huì)造成重建上很大的誤
差，若有結(jié)構(gòu)光的照明則能重建出待測(cè)物的原始形貌缺點(diǎn)是投射結(jié)構(gòu)光的圖形固定，
不能隨待測(cè)物的表面形貌而變動(dòng)，不具彈性
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