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工件輪廓動態(tài)三維表面量測的應(yīng)用-測量
顯微鏡
嶄新的動態(tài)三維表面輪廓量測方法,是根據(jù)傅立葉輪廓術(shù)(FTP;Fourier Transform Profilometry)與相移輪廓術(shù)
(PSP;Phase Shifting Profilometry)所定義的一種可以達到即時量測的複合式條紋輪廓術(shù)(CFP;Composite Fringe
Profilometry),這是一種可以接近媲美PSP的量測精度,但是同時可以達到動態(tài)三維形貌量測之創(chuàng)新動態(tài)形貌量測技術(shù)。
將不同相位的正弦條紋進行色彩編碼,以組合形成一種具獨特性的結(jié)構(gòu)圖案并且投影至物體表面上,
利用高速影像單元取像,并且由特制的帶通濾波器(band-pass filter)進行處理。
能夠以最高取像速度進行三維影像之重建能力(目前可達數(shù)百Hz以上),主要原理乃利用FTP萃取出的RGB結(jié)構(gòu)條紋并
同步進行三步相位重建。在初步的驗證階段,本方法將可以達到接近于傳統(tǒng)相移術(shù)的量測精度與重複度,
并且可即時獲得三維影像資訊的能力。
針對標準階高量測所產(chǎn)生之最大誤差可控制在全高量測范圍的1.231%以內(nèi),
而準確度、精密度以及標準差可達到全高量測范圍的0.744%、0.334%以及0.0387%。
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