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本文標(biāo)題："表面粗糙度精密測量儀器廠商-工具型顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2013-6-6 4:31:55 本站主頁地址：http://www.y7853.cn
表面粗糙度精密測量儀器廠商-工具型顯微鏡
分析一個因表面粗糙度所導(dǎo)致之光散射效應(yīng)是很復(fù)雜的，
顯然BSDF 函數(shù)是非常普遍使用有方法可用來描述介質(zhì)介面之光散射，
可在一定的入射光方向角度與光功率下，在特定的散射方向量測單位立體角內(nèi)所接收
得光功率，此由介質(zhì)介面所輻射出之光散射的角度分布狀況，可由雙向散射分布函數(shù)
(Bi-Directional Scatter Distribution Function,BSDF)來描述，
其原意為BSDF = differential radiance / differential irradiance其表示單位立體角(Ωs)
單位受照明面積(Adetector)下進入檢光感測器的散射光功率(Pscatter)，
與單位受照明面積下之入射光功率的比值
即要改善現(xiàn)今表面粗度量測的缺點，以低成本的設(shè)備費用來達到更精密的量測精度，使得許多高精密光學(xué)等級的表面－鏡片模仁、背光元件、導(dǎo)光元件、IC 晶片或碟片等，可經(jīng)由本實驗系統(tǒng)之非接觸式的量測系統(tǒng)，并以即時的線上量測的方式，來判斷表面品質(zhì)的優(yōu)劣，在觀察其光散射的分布情形
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