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本文標題："微影制程檢測工業(yè)顯微鏡-減少圖形偏移"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2013-6-12 15:20:58 本站主頁地址：http://www.y7853.cn
微影制程檢測工業(yè)顯微鏡-減少圖形偏移
微影制程中，曝光機在執(zhí)行基板粗對位(coarse alignment)時的誤差精度準確與否，
將影響生產(chǎn)的產(chǎn)量及順暢性。粗對位誤差越小越好，不佳的誤差將導(dǎo)致對位時間過久，增加生產(chǎn)的時間成本。粗對位誤差過大時，甚至將無法對位，
需要以人工方式確認處理，增加品質(zhì)風險。若處理人員判斷錯誤，
更有可能造成曝錯，造成產(chǎn)品圖形偏移
機臺內(nèi)機構(gòu)的精度誤差，會因為長時間而累積。目前業(yè)界尚無可以針對曝光機粗對
位誤差進行長期監(jiān)控的系統(tǒng)，亦無法立即發(fā)現(xiàn)異常來調(diào)整補正。當發(fā)現(xiàn)問題時，需要
針對各個單元一一澄清，若無法即時修正并改善，長期下來將損失很多產(chǎn)能。
首先收集機臺生產(chǎn)資料，分析對位誤差
與對位時間的關(guān)系；并收集歷史露光中心補正調(diào)整與對位誤差的相關(guān)資料，以倒傳遞
類神經(jīng)網(wǎng)路演算模式，訓(xùn)練并建立出調(diào)整補正量與粗對位誤差間的關(guān)系，改善現(xiàn)行靠人力判斷的方式，
減少補值后的誤差，增加調(diào)整后的對位精度，維持一個良好的狀
況，增加機臺生產(chǎn)的順暢性。
在制程監(jiān)控方面，套入多變量統(tǒng)計分析的概念，模擬出五項對位誤差數(shù)據(jù)之間的影響關(guān)系，
訓(xùn)練出較佳的管制規(guī)格，以此規(guī)格監(jiān)控實際生產(chǎn)時的粗對位誤差，提早發(fā)現(xiàn)異常點并即時處理。
粗對位誤差產(chǎn)生的原因，建立出精確可靠的誤差估測方式，以解決目前業(yè)者無法監(jiān)控，
免于大量產(chǎn)品對位時間過長的情況發(fā)生
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