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高溫淬火制程對提純冶金硅的影響
實驗方法
矽塊粉碎及篩選
強力磁選機磁選
清洗烘乾
熱淬處理
超音波震盪
清洗烘乾
ICP-OES
成份分析檢測
選用 2202 冶金級矽塊,先經(jīng)粉碎機粉碎后作為此實驗之矽粉原料。由于粉碎
矽粒尺寸不均勻及存在鋼刀磨耗鐵屑?xì)埩舻那樾�,故先以篩網(wǎng)分篩出粒徑 0.25~0.5 mm
的矽粉,再經(jīng)由強力磁選機磁選以減低鐵之殘留量,最后使用無水酒精與超純水震盪清
洗、烘乾,始成為實驗之矽粉原料。
熱淬處理制程是將矽粉放入熱處理爐升溫,當(dāng)矽粉達到設(shè)定溫度后迅速取出倒入溶
液中冷卻,以達到淬火之目標(biāo)。以 2M 鹽酸溶液分冸進行高溫水淬再酸洗、
直接高溫淬酸;以及選用 0.5 M 草酸直接進行矽粉的高溫?zé)岽�,因草酸對晶界的腐蝕性佳。清洗流
程乃將試樣放入溫度設(shè)定為 20 ℃ 之恒溫超音波震盪機中震盪,以冺酸液充分釋出,
然后再使用超純水將矽粉徹底洗淨(jìng)、烘乾,最后以 ICP-OES 進行成份分析
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