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本文標(biāo)題："投影顯微儀測(cè)量細(xì)微電子元件的輪廓外觀(guān)"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2013-7-22 0:57:18 本站主頁(yè)地址：http://www.y7853.cn
投影顯微儀測(cè)量細(xì)微電子元件的輪廓外觀(guān)
利用自制低能量電子點(diǎn)投影顯微儀搭配具有高亮度及高同調(diào)
性之單原子針觀(guān)察由電子束引起的干涉條紋，及在沒(méi)有任何透鏡的情況下
取得繞射圖形。首先，我們利用納米碳管當(dāng)做樣品以觀(guān)察由感應(yīng)電荷引起
的干涉條紋。固定針和樣品之間的距離，藉由增大加在針上的偏壓，不只
干涉條紋的間距會(huì)受到影響而變小，具有等寬條紋的區(qū)域也會(huì)因而擴(kuò)大。
搭配理論模擬可得知納米碳管上的感應(yīng)電荷密度也隨著加在針上的偏壓
增加而增加。由此可知當(dāng)真和樣品之間的距離逐漸減少時(shí)，電荷感應(yīng)效應(yīng)
會(huì)逐漸主導(dǎo)且成為干涉條紋的形成主要原因。
改變部分的儀器架構(gòu)以利于進(jìn)行繞射實(shí)驗(yàn)。在繞
射實(shí)驗(yàn)中，我們選擇利用懸掛在樣品支架中的單層石墨烯當(dāng)做繞射實(shí)驗(yàn)的
樣品。藉由調(diào)整伸縮式的光電倍增板至適當(dāng)?shù)奈恢�，即可觀(guān)察到單層石墨
烯的繞射圖形。不需借助任何透鏡的調(diào)整，只需曝光數(shù)秒鐘就可以得到六
角型對(duì)稱(chēng)的繞射圖形。
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