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本文標(biāo)題："顯微物鏡哪有賣-專業(yè)測量微結(jié)構(gòu)精密儀器制作的儀器"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2013-9-5 21:39:00 本站主頁地址：http://www.y7853.cn
顯微物鏡哪有賣-專業(yè)測量微結(jié)構(gòu)精密儀器制作的儀器
高深寬比之次微米微結(jié)構(gòu)制作方法
有許多的研究群已提出了使用光致聚合法于高分子材料內(nèi)制作高深寬比微結(jié)構(gòu)之報
告，如Horiyama以及Wu等人分別使用單光子吸收及雙光子吸收光致聚合法于感光
液態(tài)樹脂與SU-8光阻內(nèi)制作高深寬比之微結(jié)構(gòu)，
他們共同點(diǎn)為使用高數(shù)值孔徑(NA = 1.4)之顯微物鏡將激光光聚焦于高分子聚合材料
內(nèi)，其目的為產(chǎn)生直徑較小之焦點(diǎn)，
以獲得高分辨率，并輔以層層堆疊的方法制作微結(jié)構(gòu)，
以達(dá)成高深寬比之目的。由于采用層層堆疊法，故以此方法制作微結(jié)構(gòu)時，
需要較長時間。
我們所提出的方法與其他研究群使用的方法有一個很大的不同點(diǎn)，那就是僅使用單層掃
描的方法，即可制作高深寬比微結(jié)構(gòu)，且其分辨率小于光學(xué)繞射極限，達(dá)到次微米的程度。
本法由于僅掃描一層，不需使用傳統(tǒng)層層堆疊的方法，故可縮短許多制作時間
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