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本文標(biāo)題："表面輪廓儀可用來測量細(xì)微孔壁的粗糙度-工具顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2013-9-16 1:01:46 本站主頁地址：http://www.y7853.cn
表面輪廓儀可用來測量細(xì)微孔壁的粗糙度-工具顯微鏡
高速氣浮主軸以其低摩擦系數(shù)、運轉(zhuǎn)時不易產(chǎn)生高溫，及使用壽命長等特性，取代傳
統(tǒng)滾珠軸承，被廣泛應(yīng)用于精密機械與電子產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域如電路板鉆孔之應(yīng)用中。然而，面對高
精密度與高轉(zhuǎn)速的加工需求，主軸系統(tǒng)的穩(wěn)定度更顯重要。故本研究以實驗的方式，探討氣
浮主軸系統(tǒng)之軸頸軸承剛性及不穩(wěn)定性，并深入了解其剛性變化對電路板鉆削孔品質(zhì)之影
響。首先，藉由改變軸頸軸承與心軸之間隙，及外部供氣壓力，探討軸承間隙與供氣壓力對
剛性之影響。接著利用量測微鉆頭尖端之偏擺（Run-out），探討不同軸承間隙、供氣壓力及
工作轉(zhuǎn)速等，對鉆頭偏擺及系統(tǒng)不穩(wěn)定性之影響。最后以不同的進(jìn)給速度與工作轉(zhuǎn)速，對電
路板進(jìn)行實際鉆孔，并利用表面輪廓儀測量孔壁之粗糙度，并分析相關(guān)鉆削參數(shù)對孔壁粗糙
度之影響
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