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本文標題："金屬覆蓋層及氧化物和金屬斑點厚度測定金相顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2013-10-17 17:38:43 本站主頁地址：http://www.y7853.cn
金屬覆蓋層及氧化物厚度測定金相顯微鏡
無法移除的金屬殘留物
金屬殘留物由于會導致電流短路，所以影響了良率。
即使由于銅金屬與阻障層和介電層的顏色差異性，使得銅容易被檢測，
然而對銅金屬殘留物的主要挑戰(zhàn)在于如何將內連接線路上的銅金屬殘留物與小的銅斑點分離出來。
顯示大塊與小面積的殘留銅金屬斑點。
除了銅金屬殘留物外，阻障層殘留物也經常被視為良率殺手，然而不像銅金屬一般，
在介電層表面的阻障層殘留物會視介電層的厚度而難以檢測，
對某一個厚度的二氧化矽層而言，介電層表面會處于反射光的黑暗邊緣內，
讓阻障層殘留物的檢測變得更困難。不充分的研磨時間會造成阻障層的殘留，
例如一道阻障層移除程序由于其對研磨時間的限制，會產生研磨非均勻性；
或是由于前一個層次的凹陷形狀，在下一個層次會造成阻障層的淺漥狀缺陷(barrier pools)，
因此產生表面的不平坦。當阻障層的淺漥狀缺陷與銅墊接觸時，
這些缺陷即會成為良率殺手，
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