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本文標(biāo)題："銅金屬表面微小試樣表面細(xì)微劃痕測定顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2013-10-17 23:07:53 本站主頁地址：http://www.y7853.cn
銅金屬表面微小試樣表面細(xì)微劃痕測定顯微鏡
刮痕(scratches)
由于銅金屬較二氧化矽與鎢金屬軟，所以在化學(xué)機(jī)械研磨銅制程階段更容易發(fā)生刮痕，
在銅金屬表面的一般刮痕可以概分成三類，
剃刀狀刮痕(razor scratches) 、顫振狀刮痕(chatter scratches)及跳躍狀刮痕(skipping scratches)，
這些刮痕的分類例子如圖三所示。當(dāng)刮痕很深的穿入表面層下的二氧化矽，
而且超過二氧化矽層的范圍，在銅金屬被移除后，刮痕的較深區(qū)域仍會留在表面，
所以看起來不像連續(xù)性的刮痕；
刮痕可視為銅金屬沿著刮痕路徑所產(chǎn)生的晶粒間失效缺陷，
但是前述的三類刮痕其發(fā)生機(jī)制尚未建立。除了此三類泛分的刮痕外，
在二氧化矽層內(nèi)也可見到相當(dāng)數(shù)量的短刮痕。于銅金屬層的刮痕如果在后續(xù)的介電層產(chǎn)生復(fù)制現(xiàn)象，
就會造成問題，因為介電層內(nèi)的刮痕在金屬沉積與隨后的化學(xué)機(jī)械研磨制程后，
會造成金屬枝狀突出物(metal stringers)，在介電層內(nèi)的深刮痕會以同樣的方式造成圖案扭曲，
對刮痕的一般預(yù)防方法是以二氧化矽研磨劑緩擦(buff)介電層來移除深的刮痕。
銅金屬刮痕實例(以AIT II檢測獲得)，a)剃刀狀刮痕(razor scratches)，b)
顫振狀刮痕(chatter scratches)，c)跳躍狀刮痕(skipping scratches)
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