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提高電子
顯微鏡的分辨率,光學(xué)聚光鏡的原理
由于高斯光束受到像差影響的結(jié)果,與均勻分布光束受到像差
影響的結(jié)果不同,但在像差影響很小的情況下,可用上節(jié)的推論結(jié)
果,為了簡易的分析比較相對的光點受像差影響程度,故定出一簡
單的估算方式:
光點大小(spot size):光強為中心亮點光強最大值一半的光點直
徑,即是求半高全寬。
依不同的球差系數(shù)( 040W ),造成光點最大值的量降低,及光點
大小改變,不同的球差影響量之球差圖形如下列
我們可以發(fā)現(xiàn)球差系數(shù)愈大,光點大小就變的愈大,故可利用評估
光點大小的差異來訂出球差的影響
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