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微觀檢測是宏觀腐蝕的進一步檢查。微觀測試方法主要有掃描電鏡測試
、金相分析、光譜分析、中子活化分析、電子探針顯微分析、X射線衍射分析、
紅外吸收譜分析、穆斯堡爾譜分析、熱分析、同位素質(zhì)譜分析等
單色、單向、均勻而高速的微電子束與薄試樣相互作用時.
電子束中部分電子激發(fā)出與試樣相關(guān)的二次電子、背散射電子、
特征X射線和俄歇電子等信息,經(jīng)多級放大成像,它具有原子尺度的分辨能力,
同時提供物理分析和化學(xué)分析。
散射電子束和透射電子束會形成襯度完全相反的像(暗場像和明場像),
特別是選區(qū)電子衍射技術(shù)的應(yīng)用,使得分析微區(qū)形貌與微區(qū)晶體結(jié)構(gòu)結(jié)合起來
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