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本文標題："顯微輪廓儀的儀器結(jié)構(gòu)-測量顯微鏡的常識"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2014-2-26 13:25:23 本站主頁地址：http://www.y7853.cn
顯微輪廓儀的儀器結(jié)構(gòu)-測量顯微鏡的常識
顯微干涉輪廓儀的基本缺點，是視場照度明顯地比干涉顯微鏡低
得多，因為它不能用在兩個方向都擴展的光源，而采用窄的發(fā)光狹縫。
除此以外，又因采用兩面談，使儀器的制造和調(diào)整變得復雜。因此，
顯微干涉輪廓儀不能夠取代干涉顯微鏡，檢查有規(guī)則痕跡的表面，采
用干涉顯微鏡還比較合適。
林尼克I 型顯微干涉輪廓儀做成像生物顯微鏡上緊湊的附件。但
它未能得到推廠應用，因為物鏡的孔徑和放大倍數(shù)都不夠大，不能正
確評定被檢表面加工哀跡的深度。另外，儀器結(jié)構(gòu)不能保證干涉圖樣
有足夠的穩(wěn)定度。
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