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采用普通顯微鏡難以得到磨粒的三維結構,特別是
微觀的三維形
貌特征。
在一般實驗室不可能采用比較高端的顯微鏡分析磨粒的三維形貌,
而只能采用普通顯微鏡。這就需要在普通顯微鏡的基礎上采用圖像處
理技術得到超分辨率的圖像。
磨粒三維形態(tài)信息測量與特征描述方面的研究,提出了通過顯微
鏡和圖像形態(tài)學處理方法測量磨粒的三維形貌,但這僅是個開始,這
種測最還受到顯微鏡分辨率、成本、測量方法的影響。隨著超精密加
工技術、微機械技術、微電子技術和生物技術的飛速發(fā)展,顯微鏡對
表面測量精度可達到納米量級,乃至分子層面。然而,雖然顯微鏡的
測量精度越來越高,其尺度范圍卻越來越��;
由于瑞利極限的限制,采用高頻光譜提高分辨率、卻導致豐富多
彩的微觀世界變成了黑白世界。另外,測量條件的要求也很苛刻,限
制了精密儀器的使用范圍,這使得高精度與尺度、色彩和動態(tài)測量能
力之間的矛盾越來越大。
因此,研究和開發(fā)各種大尺度下的超精密三維測量技術,如何對
連續(xù)和非連續(xù)表面輪廓、大傾角表面輪廓進行非接觸式超精密測量成
為目前三維測是領域面臨的兩個亟待解決的問題,迫切需要研究和開
發(fā)出一種超精密非接觸式并具有絕對跟蹤能力的三維形貌測量與重構
技術。特別是在超光學衍射極限條件下的高分辨率、大視場、大尺度
三維測量技術,引起了人們廣泛的研究興趣
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