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本文標題："一般認為顯微鏡的分辨率粗略地等于它所使用的光的波長"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2014-4-17 17:18:41 本站主頁地址：http://www.y7853.cn
一般認為顯微鏡的分辨率粗略地等于它所使用的光的波長
一般認為顯微鏡的分辨率粗略地等于它所使用的光的波長。由于典
型的電子束波長小于1A，因此電子顯微鏡具有極大的放大倍數(shù)。
電子顯微鏡與光學(xué)顯微鏡的原理對比，圖中表明透鏡聚焦的光線和
用磁線圈聚焦的電子束間的相似性。熱絲陰極產(chǎn)生的電子由50000 至200000
伏左右的電壓加速通過陽極后，經(jīng)過準直，即達到樣品并被樣品散射、
透射、吸收或衍射。有些的電子顯微鏡觀察，樣品不是材料本身，而是
其它材料的薄膜。雖然高分辨率電子顯微鏡有2A的分辨率，但一般電子
顯做鏡，其分辨率只有5~30A.
掃描電鏡可以直接觀察樣品表面，它以電子探針的方式進行電子束
掃描。由于既存在背散射電子又存在次級發(fā)射電子，因此能形成深聚焦
的像。這使它可以特別清楚地揭示材料斷裂過程中所產(chǎn)生的不規(guī)則表面。
掃描電鏡對直接觀察熱腐蝕或其他通過高溫處理的樣品時，在放大倍數(shù)
方面具有很大的靈活性。如果在樣品表面產(chǎn)生電勢差的話，掃描電鏡能
記錄這些差異，因此掃描電鏡能用在半導(dǎo)體研究方面，來揭示通常不易
發(fā)覺的p 一n 結(jié)特征。
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