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本文標(biāo)題："樣品材料表面的粒狀物質(zhì)檢查用工具顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2014-4-21 17:26:38 本站主頁地址：http://www.y7853.cn
樣品材料表面的粒狀物質(zhì)檢查用工具顯微鏡
表面的粒狀物質(zhì)
由于表面普遍存在粒子污染，所以凈化間題急需解決。其原
因是對電子器件所需潔凈度，以及怎樣徹底清除粒子的技術(shù)了解
甚少，只認(rèn)為這是一般的問題。
雖然有了高效過濾器，并在潔凈室的設(shè)計中得到了應(yīng)用，但
是，要使表面完全沒有灰塵或其它粒狀物質(zhì)，實際上這是不可能
的。即使只在層流罩內(nèi)放幾天，在顯微鏡黑色管筒上也能看到粒
狀物質(zhì)。同樣，將硅片在標(biāo)準(zhǔn)罩內(nèi)存放一星期，由于選擇性的粒子
污染，硅表面出現(xiàn)了鈉原子。
清除表面粒子可用兩種方法:用壓縮空氣吹;用水或隋性溶劑
快速沖洗。清除這種粒狀物質(zhì)的難度，與日常清掃汽車相似。即
使高速行駛，汽車表面的粒狀物質(zhì)也只是小部分被“吹掉”�；蛟S
這種比喻不怎么恰當(dāng)，因為在汽車表面沉積了一層趨于增加粘附
力的有機膜，當(dāng)然在硅片上也是沉積了一層有機膜。如果有人想
用軟管的水流(沒有肥皂的)洗掉汽車上的塵土，那么經(jīng)驗說明，即
使水流壓力再高也達不到目的的。
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