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本文標題："透射電子顯微鏡依據(jù)其不同特點分為幾種不同類型"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2014-6-1 14:23:57 本站主頁地址：http://www.y7853.cn
透射電子顯微鏡依據(jù)其不同特點分為幾種不同類型
透射電子顯微鏡依據(jù)其不同特點分為幾種不同類型，如高分
辨率電子顯微鏡(HRTEM) ，其特點是利用相位襯度可實現(xiàn)在原子
間距尺度上晶體材料的結構分析; 又如掃描透射顯微鏡(STEM)，
它利用透射電子或散射電子成像，其空間分辨率比傳統(tǒng)的透射電
子顯微鏡高100 倍。
如果采集高角度散射電子，可以得到原子面的高分辨像甚至
單個重原子像; 再如分析電子顯微鏡(ATM) ，它是一種集透射電
子顯微鏡、掃描電子顯微鏡和電子探針顯微分析儀三種儀器的功
能為一體的綜合分析儀器，它采用透射電子顯微鏡同樣的薄試樣
和高電子加速電壓，具有透射電子顯微鏡的全部功能，可對薄晶
體進行衍襯和選區(qū)衍射分析; 它安裝了電子束掃描系統(tǒng)，
借助偏轉線圈可使人射束在試樣表面作大面積掃描，并裝備
了各種信號( 二次電子、背反射電子和X 射線) 探測器可在陰極
射線管熒光屏上獲得二次電子像、背反射電子像和X 射線元素分
布圖，具有掃描電子顯徽鏡的功能; 采用強磁透鏡使電子束會聚
成極小探針( 約0.1 μm)，可對試樣上幾納米的區(qū)域進行電子衍
射或X 射線能譜或電子能量損失譜分析，即可進行空間分辨率極
高的成分、結構分析。也就是說可以在一次實驗中同時獲得同一
區(qū)域的高放大倍率的形貌像、晶體學參數(shù)和化學成分等數(shù)據(jù)。
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