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本文標(biāo)題："鉆孔分析用的深度斷面輪廓測(cè)量工具顯微鏡"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2014-6-5 1:12:37 本站主頁(yè)地址：http://www.y7853.cn
鉆孔分析用的深度斷面輪廓測(cè)量工具顯微鏡
離子刻蝕已用在多種分析技術(shù)中，包括供鉆孔分析用的深度斷面輪廓、生產(chǎn)透射
型電子顯微鏡用的薄膜樣品以及作為制造半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)工具.這些技術(shù)用于
刻蝕金相樣品只是最近的事。
離子刻蝕涉及將拋光樣品放入真空室內(nèi)。特定氣體的離子被加速到高能態(tài)，并使
之碰攤樣品表面。碰撞時(shí)，電離的氣體將從樣品中“拖出”表面原子。隨后，由樣品中
的不同結(jié)構(gòu)的材料勒離速率的差異產(chǎn)生反差.材料剝離速率取決于電離的氣體類型、
被刻蝕的材料和發(fā)生碰撞的角度
劃線折斷法是一種不需要灌封、研磨或拋光的快速而簡(jiǎn)便的獲取截面的步驟。整
個(gè)方法包括用金剛石尖頭工具在圓片表面上劃線，然后施加足以使硅沿劃線折斷的向
下力。這種方法不是最精密的、但毫不費(fèi)力便能給出適當(dāng)?shù)慕Y(jié)果
玻璃膠工藝
在去除表面玻璃鈍化之后，當(dāng)需要對(duì)集成電路或晶體管上的金屬化結(jié)構(gòu)進(jìn)行橫向
截?cái)嗷蛉羝骷饘偕戏經(jīng)]有玻璃鈍化層時(shí)，應(yīng)用旋
涂玻璃膠對(duì)金相學(xué)工作者將大有幫
助。如果玻璃沒(méi)有表面層，鋁或金屬化便容易弄臟、增加原有金屬的厚度并到處形成
微裂縫。以下步驟利用市售玻璃膠(SDG)和標(biāo)準(zhǔn)金相輪
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