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本文標(biāo)題："瑕疵的表面檢測(cè)顯微鏡三維計(jì)量方法的優(yōu)點(diǎn)"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2014-7-18 22:44:15 本站主頁(yè)地址：http://www.y7853.cn
瑕疵的表面檢測(cè)顯微鏡三維計(jì)量方法的優(yōu)點(diǎn)
波前計(jì)量方法是分析一束與待測(cè)樣品相互作用后的波前。一般地，波前計(jì)量
方法使用矩陣傳感器，因而能夠快速收集三維信息。波前計(jì)量方法的優(yōu)點(diǎn)是:
不僅可以應(yīng)用于表面測(cè)量，而且也能測(cè)量整個(gè)元件的特性，對(duì)于后者，可以測(cè)量
透明光學(xué)元件。有時(shí).開(kāi)創(chuàng)了一種純表面測(cè)量可能相當(dāng)難以實(shí)現(xiàn)的功能性測(cè)量方法。
在某些情況下，兩個(gè)表面對(duì)波前的組合效應(yīng)要比其中一個(gè)的單獨(dú)作用弱或簡(jiǎn)
單些，這不僅是測(cè)量組件波前的能量，而且也是一個(gè)位得注意之處.當(dāng)測(cè)量?jī)蓚�(gè)
以上表面的組合作用時(shí)，找出潛在缺陷的根本原因并不容易，利用其他檢驗(yàn)方法
或者制模工的經(jīng)驗(yàn)有助于查明具有最大瑕疵的表面。為了對(duì)生產(chǎn)進(jìn)行質(zhì)量控制，
透射干涉術(shù)和波前傳感法是非常有用的技術(shù)，利用這些方法可以測(cè)量一個(gè)零件的
光學(xué)功能，所以，很容易地應(yīng)用合格/不合格判斷準(zhǔn)則。此外，只需完成一次而
不是兩次表面測(cè)量。下面討論干涉術(shù)和其他波前傳感技術(shù)。未明確表明區(qū)別時(shí)，
則這些計(jì)量技術(shù)可以應(yīng)用于表面和透射波前兩種測(cè)量。
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