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本文標(biāo)題："高精度表面的輪廓數(shù)據(jù)測(cè)量工具顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時(shí)間：2014-7-18 22:44:30 本站主頁(yè)地址：http://www.y7853.cn
高精度表面的輪廓數(shù)據(jù)測(cè)量工具顯微鏡
通常.這些測(cè)量?jī)x有較
大的測(cè)量范圍.對(duì)于某些表面形狀，精度是足夠的.而對(duì)較小的光學(xué)表面，可以
使用一臺(tái)高梢度x-y掃描儀。如果使該儀器安裝上能夠滿足待測(cè)表面對(duì)高度和分
辨率要求的光學(xué)探頭，就能高質(zhì)量地測(cè)量光學(xué)表面。作為非接觸探頭類儀器.必
須介紹彩色探頭和所謂的錐光探頭
采用這種基本思路，特別是測(cè)量強(qiáng)彎曲表面和非球面時(shí)，光學(xué)表面計(jì)量的一
種趨勢(shì)，或者進(jìn)一步說，是以三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x為基礎(chǔ)，并使其適應(yīng)光學(xué)計(jì)量的具體
要求.
一般地，以三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x為基礎(chǔ)能夠保證探頭相對(duì)于待測(cè)表面精確的
全方位定位，探頭本身傳送高精度表面的輪廓數(shù)據(jù)，一般是高度數(shù)據(jù)。
在這種方式中，最佳應(yīng)用包括位移測(cè)量干涉儀(DMI)完成的全方位定位測(cè)量
以及探頭外高分辨率局部數(shù)據(jù)。下面討論應(yīng)用該原理的具體例子。
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