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本文標(biāo)題："高倍率精細(xì)物鏡放大倍數(shù)較高、焦距較短"
新聞來源：未知 發(fā)布時(shí)間：2014-8-10 0:35:53 本站主頁地址：http://www.y7853.cn
高倍率精細(xì)物鏡放大倍數(shù)較高、焦距較短
當(dāng)象的質(zhì)量受到損害時(shí)，偶爾的原因可能是物鏡受損傷.有
些儀器備有用彈簧緩沖的物鏡以減少物鏡損傷的可能性.但是，
防止這種不幸事故的最好辦法是細(xì)心地進(jìn)行聚焦，尤其對(duì)放大倍
數(shù)較高、焦距較短(而且比較昂貴)的物鏡更要謹(jǐn)慎.定期地用低
倍放大鏡檢查物鏡的外露表面是否有污染和損傷等情況是個(gè)良好
的習(xí)慣，同一臺(tái)顯微鏡的目鏡可以令人十分滿意地用于此目的.
表面上高度變化的襯度能夠通過暗場而獲得顯著的改善.
表示了集成電路板的表面在普通亮場和暗場下觀察時(shí)的情
況.相襯對(duì)于表面變化引起的襯度也很有用，好比只用衍射光觀
察物體的顯微鏡一樣，這可以通過下述辦法實(shí)現(xiàn):在進(jìn)來的光束中，
放置環(huán)形光闌并攔阻經(jīng)反射后通過物鏡而返回的直接光環(huán)的通
道(與相襯系統(tǒng)相類似，只不過用不透明材料代替了移相器).衍射
光束只輕微地衰減，而它所產(chǎn)生的襯度則比它和直接光束混合時(shí)
所產(chǎn)生的襯度要大得多.獲得最大的高度變化襯度的最好方法也
許就是采用多光束干涉儀或偏振光干涉儀(如Nomarski干涉儀).
不論哪一種情況，達(dá)到幾分之一波長的靈敏度都是完全可能的.偏
振光儀器把高度變化顯現(xiàn)為顏色的差異并直接顯示表面，而多光
束儀器當(dāng)條紋穿過臺(tái)階時(shí)便發(fā)生移動(dòng)。鑒于這些區(qū)別，偏振光干
涉儀往往給出更易于解釋的象而多光束儀器則可更好地用于定量
測定臺(tái)階高度.
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