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設(shè)計(jì)精密測(cè)量
顯微鏡時(shí),保證穩(wěn)定的測(cè)量精度
設(shè)計(jì)精密
測(cè)量顯微鏡時(shí),從現(xiàn)實(shí)看來受到各種制約的地方較多。
為此,如果進(jìn)行多少有點(diǎn)不合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),最必要的測(cè)量精度
也是不會(huì)穩(wěn)定的。因此,為了保持穩(wěn)定的測(cè)量精度,就需要設(shè)計(jì)
出能校正產(chǎn)生誤差的機(jī)構(gòu)和裝置的測(cè)量顯微鏡,
試把受實(shí)際工作所制約的條件加以整理后,主要有以下幾點(diǎn)。
1/主要零件的加工誤差
通常精密測(cè)量顯微鏡在那個(gè)時(shí)代中,需要比加工精度還要高的測(cè)
定植度。因此,根據(jù)情況,使用加工精度不良的主要零件,會(huì)限
制高精度測(cè)量顯微鏡的設(shè)計(jì)與制造的條件。
2/在運(yùn)動(dòng)部分產(chǎn)生的變形
在機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)階段中,因?yàn)榻M成機(jī)構(gòu)的各個(gè)元件是剛體的,所
以不會(huì)變形。但是,在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)階段,所有的剛體在設(shè)計(jì)中都不
能予以考慮。特別是載荷集中部分,在運(yùn)動(dòng)部分有沉重的物體移
動(dòng)時(shí),當(dāng)然要考慮彈性變形,并要采取相應(yīng)的措施。
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