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本文標(biāo)題："白光和多波長(zhǎng)技術(shù)也常常應(yīng)用其測(cè)量-輪廓顯微鏡"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2014-11-11 12:32:02 本站主頁(yè)地址：http://www.y7853.cn
白光和多波長(zhǎng)技術(shù)也常常應(yīng)用其測(cè)量-輪廓顯微鏡
表面輪廓技術(shù)很多是由距離測(cè)量或焦距測(cè)定技術(shù)發(fā)展而來(lái)的，同時(shí)
它們也往往需要進(jìn)行掃描來(lái)獲得面形輪廓。本章將介紹探針輪廓儀、
掃描探針顯微鏡、共焦顯微鏡及干涉光學(xué)輪廓儀。這些儀器都被廣泛
應(yīng)用于表面面形的測(cè)定。而且既適用于極小的典型工程表面，也適用
于非球面和玻璃平板這樣大面形檢測(cè)。
掃描探針顯微鏡和探針輪廓儀，然后圍繞著近十年來(lái)發(fā)展的、
單色光及白光照明干涉顯微鏡，另外還對(duì)近年來(lái)被廣泛應(yīng)用于工程表
面測(cè)量和共焦顯微鏡進(jìn)行了介紹。
多波長(zhǎng)干涉測(cè)量技術(shù)方面的工作，也就是雙波長(zhǎng)和多波長(zhǎng)、波長(zhǎng)掃
描、光譜分析、白光干涉測(cè)量技術(shù)。白光和多波長(zhǎng)技術(shù)也常常應(yīng)用其
測(cè)量方法、比如散斑、全息及條紋和結(jié)構(gòu)光投影過(guò)程。
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