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本文標題："微米級加工精度和工件的尺寸測量工具顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2014-11-12 12:39:43 本站主頁地址：http://www.y7853.cn
一般的， 在掃描測量法中，需先確定好嚴格的測量基準，
然后開始對對被測物體進行掃描，以此查獲得被測量物的相對
位置變化或相對角度等。根據(jù)母性原理，掃描測量法和測量精
度由以下兩個因素決定：
精密檢測技術(shù)是順應(yīng)精密加工技術(shù)的需求出現(xiàn)和，且伴隨加
工技術(shù)的進步而發(fā)展。對工件的檢測與評價順由檢測技巧決定
。精密加工技術(shù)和精密檢測技術(shù)就像汽車上的兩個輪子，
缺一不可。一般的，加工精度和工件的尺寸之比超過了10，或
是加工精度的絕對值為微米級或超出這一范圍的加工都可稱為
超精密加工。超精密檢測技術(shù)的精度必須比對應(yīng)的超精密加工
精度高一個數(shù)量級。最近，超精密加工的精度要求不斷地提高，
對加工面形的要求不僅僅是平面或鏡面的加工。
而且對非球面形狀部件加工的需求也越來越多。非球面能平衡
光學(xué)誤差，這種優(yōu)越的光學(xué)性能使非球面光學(xué)元件具備廣泛的
應(yīng)用前景。為了能實現(xiàn)多種形狀的超精密加工，超精密測量技
術(shù)將被寄予更高的期望。
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