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本文標(biāo)題："精密加工面形測(cè)量-光學(xué)式粗糙度測(cè)量顯微鏡"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2014-11-12 17:41:42 本站主頁(yè)地址：http://www.y7853.cn
精密加工面形測(cè)量-光學(xué)式粗糙度測(cè)量顯微鏡
超精密加工技術(shù)追求的是精度極限，隨著品質(zhì)的穩(wěn)定和需求
的增大，對(duì)高效率加工的要求也就越來(lái)越高。在高效率加工同
時(shí)，為不保證加工精度，須對(duì)工件精度進(jìn)行測(cè)量。然后及時(shí)將
結(jié)果反饋回控制程序，對(duì)工件進(jìn)行補(bǔ)償加工，從而進(jìn)一步提高
工件的加工精度，顯然，精密測(cè)量技術(shù)在超精密加工中占據(jù)了
重要的地位。
在常用的超精密形狀測(cè)量法中，利用光干涉的面形測(cè)量法運(yùn)
用的最多。干涉測(cè)量法的應(yīng)用前提是必須要保證基準(zhǔn)元器件的
精度，但如何保證其精度是現(xiàn)在面臨的主要問(wèn)題之一。
而且目前非球面形狀的干涉測(cè)量法仍舊不成熟，這也是現(xiàn)在需
要解決的關(guān)鍵問(wèn)題之一。鑒于干涉法對(duì)振動(dòng)或環(huán)境的適應(yīng)很弱
的情況下，該測(cè)量方法更傾向于大型化的光學(xué)系統(tǒng)測(cè)量，
而不是傾向于微型的光學(xué)測(cè)量或機(jī)械測(cè)量。與此相對(duì)應(yīng)的是，
掃描測(cè)量方法可以實(shí)現(xiàn)球面或平面，以及非球面等多種形狀的
簡(jiǎn)單在線(xiàn)測(cè)量。
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