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本文標(biāo)題："光學(xué)比較顯微鏡-對(duì)比不同樣品的區(qū)別軟件"
新聞來源：未知 發(fā)布時(shí)間：2014-12-8 1:50:57 本站主頁地址：http://www.y7853.cn
光學(xué)比較顯微鏡-對(duì)比不同樣品的區(qū)別軟件
光學(xué)比較法
這種方法的工作原理是將兩塊掩膜版
進(jìn)行比較以尋找兩者之間的差別。兩塊掩
膜版分別放在平臺(tái)上，然后分別由經(jīng)過濾
色后成，為互補(bǔ)色的兩個(gè)光源照明，將兩塊掩膜版
的圖形進(jìn)行重疊，造成顯微鏡中的明場和
暗場的匹配區(qū)域。假如兩塊掩膜的某一塊
出現(xiàn)圖形上的變化，就會(huì)以這塊掩膜版所照射的光源的顏色顯示
出來。人的眼睛對(duì)于圖形的差別是非常敏感的，因此一旦在掩膜版
上出現(xiàn)缺陷或者圖形異常，將會(huì)很快被檢查出來。但使用光學(xué)比
較法來發(fā)現(xiàn)缺陷，其代價(jià)是很高的，因?yàn)?1.套準(zhǔn)必須最佳，但
這是很花費(fèi)時(shí)間的，2。操作過程很難實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，3.需要特別高
的機(jī)械精度。
上述這些問題是很重要的，因此光學(xué)比較器現(xiàn)在一般仍用于
檢驗(yàn)一些特別重要的領(lǐng)域，如臨界尺寸檢驗(yàn)和線條寬度變化等。
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