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本文標題："微電子器件制造鑒別和定量測定工業(yè)金相顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2015-6-22 1:44:43 本站主頁地址：http://www.y7853.cn
微電子器件制造鑒別和定量測定工業(yè)金相顯微鏡
對污染物的鑒別和定量測定，這是控制和排除污染的
首要問題、我們必須了解雜質(zhì)的來源及其對產(chǎn)品制造的影
響。用化學分析測定雜質(zhì)的數(shù)量、特性、存在形式和分布
方式。因此，對從事微電子器件制造和工廠環(huán)境控制人員
來說，必須深刻理解這個問題的重要性。尤其在微電子學
中，材料的研究是以微量污染為中心的。由刁：可供分析
的試樣有限，通常，采用既靈敏又精密的高級儀器進行檢
驗。根據(jù)微電子學的基本方法，本章主要討論檢驗分析問
題。
檢驗方法
解決污染問題有兩種方法：一是從產(chǎn)品的專門研究，
鑒別污染雜質(zhì)；另一是從綜合研究已知污染物，分析產(chǎn)品
存在的問題。在第一種情況，首先要區(qū)別“合格”和“不
合格”試樣，并用理論和經(jīng)驗分析產(chǎn)品存在問題的原因，
可以用放大系數(shù)小的晶體管作為例子。將制造晶體管的硅
材料作比較：“不合格”試樣含金0.05ppm ，而“合格”
試樣就不一樣。晶體管材料加工爐是使產(chǎn)品污染上金的原
因之一，如果排除含有60ppm 金的加工爐污染部分，問題
就解決了
在第二種情況，必須明確可疑污染物和產(chǎn)品缺陷間的
關(guān)系。例如有機涂層產(chǎn)生聚合作用，這就使固有的薄膜不
再腐蝕。臭氧就是最易引起聚合作用的，控制幾天后可以
發(fā)現(xiàn)臭氧與產(chǎn)品缺陷的關(guān)系，在臭氧值降至土6ppm后問題
也就解決了。
器件純度要求器件內(nèi)外可容雜質(zhì)程度和測量此種雜質(zhì)
的儀器能力都是不同。有些情況并不由于儀器的靈敏度不
好，也有使用了靈敏度最好的分析儀器而不能檢測出有害
雜質(zhì)的情況，尤其是對硅雜質(zhì)的
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