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本文標(biāo)題："微電子學(xué)分析儀器的組合式多功能金相顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時(shí)間：2015-6-22 1:45:01 本站主頁地址：http://www.y7853.cn
微電子學(xué)分析儀器的組合式多功能金相顯微鏡
分析儀器的組合
在微電子學(xué)領(lǐng)域，為了取得同一試樣的兩種不同結(jié)論，對(duì)污染
乩化學(xué)檢驗(yàn)和分析必須有更多的分析方法。
試樣采集和制備
試樣的采集和制備是化學(xué)檢驗(yàn)、分析的重要課題。 在試樣
采集時(shí)，必須十分小心，不讓試樣沾污。最基本的是使用標(biāo)準(zhǔn)試
樣。兩個(gè)相同試樣的選擇：一個(gè)留作專用；另一個(gè)根據(jù)需要使用
。
由于容器和試樣間的相互作用，儲(chǔ)存試樣時(shí)也會(huì)引起污染。
儲(chǔ)存在玻璃器皿中的液體可濾出大量鈉和其它物質(zhì)，水溶液中的
某些元素易被容壁吸收，這樣，幾天后容器中的濃度顯著下降，
有些塑料容器有增塑劑，這種增塑劑使儲(chǔ)存的液體沾污，塑料管
通過容器把增塑劑引入液體。
容器和試樣的加工材料應(yīng)按試樣類型、難度和所用儀表進(jìn)行
選擇。 如果對(duì)有機(jī)物質(zhì)和無機(jī)物質(zhì)都要進(jìn)行檢測，那么必須采
用兩種試樣和加工系統(tǒng)、輻射光譜學(xué)租X—射線熒光光譜學(xué)對(duì)有
機(jī)物質(zhì)來說不是很靈敏的，而紅外分光光度計(jì)和氣體色譜學(xué)對(duì)無
機(jī)
通常，采用這種分析方法時(shí)是利用襯底作試樣的載體或集電極，
在微電子制造工藝中用做襯底的有玻璃滑片、高純金屬小片(例
如鋁)、特別是加工過的石墨棒和薄片以及硅圓片等。
分析前清洗試樣，有時(shí)是必要的，但往往是有害的。被發(fā)現(xiàn)
的表面污染，在清洗時(shí)只能洗掉那些特別明顯的地方，而那些應(yīng)
該清洗的混合物殘?jiān)赡軟]有洗掉。 例如蝕刻時(shí)，氟氫酸
在硅表面留下的少量氟殘?jiān)? 若徹底沖洗仍未洗掉殘?jiān)�，則只
能用高溫處理、 制備試樣的分析不僅要考慮什么是必需去掉的
，而且也要考慮什么是首先應(yīng)該去掉的(例如某些雜質(zhì))，以及什
么是可以作為干涉殘?jiān)粝碌摹?/div>
加工時(shí)，還必須考慮保存試樣的方法。 容器不應(yīng)在化學(xué)上
妨礙分析，在采用塑料和膠合劑時(shí)，就要考慮這一問題。有時(shí)可
用氧化鋅作填料，用此類膠合劑保存的試樣，在搜索污染中往往
發(fā)現(xiàn)虛報(bào)現(xiàn)象。
總之，取得試樣的主要目的在于采集材料，如果沒有附加污
染物，這種材料能準(zhǔn)確代表現(xiàn)有污染，并可用選定的分析方法計(jì)
數(shù)和測量。取得試樣的方法與檢測雜質(zhì)類型、所用儀器有密切關(guān)
系
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