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本文標題："電容式測微儀測量表面粗糙度原理的定制設(shè)計"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2015-6-26 12:34:18 本站主頁地址：http://www.y7853.cn
電容式測微儀測量表面粗糙度原理的定制設(shè)計
電橋式電容測微儀的主要缺點是易受雜散寄生電霍：以及電纜電容
的影響，使儀器不穩(wěn)定，有較大的測量誤差。這種測量原理只能用
在傳感器本身的電容量及其變化量都比較大的場合。
隨著電子技術(shù)的發(fā)展，電纜驅(qū)動技術(shù)的出現(xiàn)，使得電容測微技術(shù)有
可能克服上述缺點，從而研制成新的高精度和高靈敏度的電容式測
微儀。運算式電容測微儀可以在很寬的范圍內(nèi)精確地測量微小相對
位移和10一2000Hz的振動幅值。表面粗糙度的概：念及表征參數(shù)加
工后的零件的實際表面，、并不是絕對理想的，而是有著各種不同
節(jié)距的峰谷起伏。
一般可以把零件實際表面對理想表面的偏差按起伏的節(jié)距大小分為
微觀不平度、波度與宏觀幾何形狀誤差
微觀不平度就是表面粗糙度，有時也稱光潔度，其粗高與粗距都很
小。波度是一種周期性的起伏，它的波距比波高大得多。宏觀形狀
誤差就是一般所說的直線度、平面度、圓度等等，它的波距很大，
在一個表面上只有幾個起伏，甚至不呈周期性變化。零件表面粗糙
度，對機器或儀器的性能、壽命、可靠性等均有很大的影響。具體
地說，它與零件表面的使用特
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